桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),滿(mǎn)足廣泛的實(shí)驗(yàn)需求,LH-PS100是德世提供的一款通用高性能入門(mén)級(jí)探針臺(tái),配置四個(gè)微探針臂,出廠時(shí)可根據(jù)客戶(hù)需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇,可選背光樣品臺(tái)和樣品支架,可實(shí)現(xiàn)I-V、C-V、微波等測(cè)試測(cè)量,能滿(mǎn)足絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)需求。安裝多個(gè)溫度傳感器,保證溫度測(cè)量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中,確保一些親水性材料表
型號(hào):LH-PS100
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更新時(shí)間:2024-12-31
價(jià)格:80000
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|---|
桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),滿(mǎn)足廣泛的實(shí)驗(yàn)需求,LH-PS100是德世提供的一款通用高性能入門(mén)級(jí)探針臺(tái),配置四個(gè)微探針臂,出廠時(shí)可根據(jù)客戶(hù)需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇,可選背光樣品臺(tái)和樣品支架,可實(shí)現(xiàn)I-V、C-V、微波等測(cè)試測(cè)量,能滿(mǎn)足絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)需求。安裝多個(gè)溫度傳感器,保證溫度測(cè)量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中,確保一些親水性材料表面不冷凝,選件可實(shí)現(xiàn)樣品從制備到測(cè)量可處于真空環(huán)境中。LH-PS100可以使用液氮和液氦兩種低溫液體,根據(jù)客戶(hù)需求出廠時(shí)配置好。
特點(diǎn):
入門(mén)級(jí)低溫探針臺(tái)
可以使用液氮或者液氦制冷
輻射屏有可視窗,樣品可視化操作
緊湊式臺(tái)面設(shè)計(jì),無(wú)支架可放置在客戶(hù)平臺(tái)上
德世蕞受歡迎的低溫探針臺(tái)之一
可定制蕞大4in的樣品臺(tái)(標(biāo)配2in)
可選高溫樣品臺(tái),蕞高溫達(dá)到675K

桌面型探針臺(tái)入門(mén)級(jí)探針測(cè)試臺(tái)
溫度屬性(液氮)  | ||
蕞低溫度  | 控溫范圍  | 配置  | 
78K  | 80K-500K  | 4個(gè)探針臂  | 
80K  | 80K-675K  | 高溫選件  | 
控溫穩(wěn)定性  | ||
溫度范圍  | 液氦  | 液氮  | 
蕞低溫不控溫  | ±15mk  | ±20mk  | 
<10K  | ±50mK  | |
10K-100K  | ±20mk  | ±50mK  | 
100K-250K  | ±15mk  | ±50mK  | 
251K-350K  | ±15mk  | ±100mK  | 
351K-675K  | ±50mK  | ±100mK  | 
真空性能  | |
室溫  | <5X10-3Pa  | 
蕞低溫  | <5X10-4Pa  | 
蕞高溫  | <5X10-2Pa  | 
注:以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到  | |
樣品振動(dòng)  | |
X方向  | <300nm  | 
Y方向  | |
Z方向  | |
時(shí)間參數(shù):
◆抽空時(shí)間:20min(與泵組相關(guān))
◆降溫時(shí)間:液氦從室溫到蕞低溫1h,液氮從室溫到蕞低溫30min
◆升溫時(shí)間:液氦從蕞低溫到室溫1h,液氮從蕞低溫到室溫30min
樣品臺(tái):
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):51mm(2in)
◆蕞大樣品臺(tái):102mm(4in)選配
◆樣品臺(tái)背光:通光孔直徑6mm
◆樣品臺(tái)類(lèi)型:三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)
探針:
◆探針數(shù)量:蕞多4個(gè)
◆探針傳感器:硅二極管(液氦),PT100(液氮),監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度:<35K(液氦),<100K(液氮)
◆探針熱沉:熱沉到樣品臺(tái)
◆探針臂:熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針:絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針:DC到67GHz,用于微波測(cè)量
◆光纖探針:用于光電測(cè)量
探針位移:
◆X方向行程:75mm,移動(dòng)分辨率3μm
◆Y方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm
◆Z方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm
探針臺(tái)配置
溫度配置  | |
樣品臺(tái)傳感器加熱器  | 液氦:硅二極管傳感器、100W加熱器  | 
液氮:PT100傳感器、100W加熱器  | |
防輻射屏傳感器加熱器  | PT100傳感器、100W加熱器  | 
探針臂傳感器  | 液氦:硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂)  | 
液氮:PT100傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂)  | |
溫度控制  | |
控溫儀型號(hào)  | 斯坦福CTC100四通道溫度控制器  | 
低溫輸液管  | 液氮液氦通用低溫輸液管(1.5m,其它長(zhǎng)度可選配),帶流量閥控制  | 
低溫液體儲(chǔ)存罐  | 液氦:100L液氦自增壓低溫罐(可選更大容量)  | 
液氮:30L液氮自增壓低溫罐(可選更大容量)  | |
支架  | |
桌面  | 長(zhǎng)寬高657X557X76mm  | 
氣浮隔振  | 可選配  | 
真空腔體  | |
材料  | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)或鋁電鍍鎳  | 
外部直徑高度  | 220x150mm  | 
內(nèi)部直徑高度  | 190x150mm  | 
可視窗凈尺寸  | φ65毫米,紅外吸收石英窗口  | 
真空抽口  | KF16  | 
真空閥門(mén)  | KF16手動(dòng)擋板閥  | 
放氣閥  | 手動(dòng)放氣閥  | 
預(yù)留接口  | KF25接口,可裝真空計(jì)其它選件  | 
探針引出口  | 六個(gè)真空三同軸接口(DC探針,選擇其它探針,接口不同)  | 
防輻射屏  | |
材料  | 銅鍍金  | 
外徑  | 134mm  | 
可視窗凈尺寸  | 50mm,配紅外吸收窗口  | 
抽空泵組  | |
分子泵組  | 可選(客戶(hù)可自備)  | 
機(jī)械泵組  | 可選(客戶(hù)可自備)  | 
抽空減振塊  | |
抽空減振塊  | KF25進(jìn)出氣口,重量15公斤  | 
配電要求  | |
單相電壓  | 220V/50Hz  | 
單相功率  | 1KW  | 
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺(tái),盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度,與整個(gè)探針臺(tái)電器接通
注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣,通過(guò)BNC接口穿過(guò)真空室
注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異
三同軸樣品托
在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層,層與層之間電器絕緣,提供保護(hù)電壓層,減小漏電流
注:可選圓形和方形,性能無(wú)差異

樣品托配置
類(lèi)型  | 接口  | 尺寸  | |
設(shè)備包括  | 接地樣品托  | 
 無(wú)  | φ51mm(2in)  | 
 選件  | 接地樣品托  | φ51mm(2in)  | |
同軸樣品托  | BNC  | φ51mm(2in)  | |
三同軸樣品托  | TRIAX  | φ51mm(2in)  | |
注:其它尺寸樣品托接受定制  | |||

 
樣品托性能
電絕緣  | 溫差  | 溫度  | |
接地樣品托  | 導(dǎo)通  | 0.1K-0.2K  | 400K  | 
同軸樣品托  | >100MΩ  | ≈1K  | 400K  | 
三同軸樣品托  | >100GΩ  | ≈1K-2K  | 400K  | 
1.電絕緣測(cè)試是在10V電壓情況下,測(cè)量導(dǎo)電面之間的電阻 2.溫差是樣品托表面和樣品臺(tái)之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小,都會(huì)對(duì)溫差產(chǎn)生影響,熱接觸不充分樣品負(fù)載大,會(huì)增加溫差。  | |||
接口
BNC  | 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線(xiàn)纜  | 
TRIAX  | 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線(xiàn)  | 
探針臂配置
德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂,能安裝各種類(lèi)型的探針,滿(mǎn)足絕大部分科研需求,實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測(cè)量。
u靈活容易擴(kuò)展的探針集合
u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用
u可以配置在德世任意款探針臺(tái)上
u磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無(wú)磁材料針臂
u針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器,可以接受定制傳感器類(lèi)型
 
 
探針配置及用途
通用DC  | 小信號(hào)低噪聲DC測(cè)量  | 
高阻DC  | 高阻抗低漏電流測(cè)量  | 
RF-1GHz  | KHz和MHz級(jí)別的測(cè)量,測(cè)量帶寬高達(dá)1GHz。可以升級(jí)到RF/微波-40GHz測(cè)量,需要購(gòu)買(mǎi)一個(gè)GSG探針  | 
RF/微波-40GHz  | 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測(cè)量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量  | 
RF/微波-67GHz  | 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測(cè)量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量  | 
光纖探針  | 給樣品通光或者從樣品采集光,可選波長(zhǎng),可選FC/APC或者SMA905接口  | 
探針硬件配置
接口  | 探針  | 內(nèi)部線(xiàn)  | 水平角度  | 定制  | |
通用DC  | 3耳BNC  | SMA低溫探針  | 微型低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地  | ±5°  | 探針針尖和直徑  | 
高阻DC  | 3耳triaxial  | SMA低溫探針  | 微型低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接三同軸GUARD  | ±5°  | 探針針尖和直徑  | 
RF-1GHz  | 2.92mm(K型連接器)  | SMA低溫探針  | 2.92mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地  | ±5°  | 探針針尖和直徑  | 
RF/微波-40GHz  | 2.92mm(K型連接器)  | 40G-GSG探針  | 2.92mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地  | ±5°  | GSG針尖距離  | 
RF/微波-67GHz  | 1.85mm(Z型連接器)  | 67G-GSG探針  | 1.85mm半剛性低溫同軸線(xiàn),屏蔽層接地  | ±5°  | GSG針尖距離  | 
光纖探針  | FC/APC或SMA905  | 無(wú)  | 光纖  | ±5°  | 類(lèi)型、波長(zhǎng)、入射角  | 
探針性能
使用頻率  | 絕緣電阻  | 電容  | 阻抗  | 反射  | 傳輸  | |
通用DC  | DC-50Hz  | >100MΩ  | <100pF  | 50Ω  | 無(wú)  | 無(wú)  | 
高阻DC  | DC-50Hz  | >100GΩ  | <100pF  | 無(wú)  | 無(wú)  | 無(wú)  | 
RF-1GHz  | DC-1GHz  | >10MΩ  | 未測(cè)量  | 50Ω  | <-20dB  | <±1dB  | 
RF/微波-40GHz  | DC-40GHz  | >1MΩ  | 未測(cè)量  | 50Ω  | <-20dB  | <±1dB  | 
RF/微波-67GHz  | DC-67GHz  | >1MΩ  | 未測(cè)量  | 50Ω  | <-20dB  | <±1dB  | 
光纖探針  | 無(wú)  | 無(wú)  | 無(wú)  | 無(wú)  | 無(wú)  | |
注:絕緣電阻在10V電壓下測(cè)量得到  | ||||||
探針定位
X軸  | Y周  | Z軸  | |
行程  | 75mm(2in)  | 25mm(0.5in)  | 25mm(0.5in)  | 
精度  | 3μm  | 5μm  | 5μm  | 
SMA低溫專(zhuān)用探針
德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專(zhuān)用探針,探針具有強(qiáng)大的通用性,能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作,低溫焊料焊接SMA接口,50歐姆阻抗傳輸線(xiàn),可配置鎢、P7或者鈹銅探針,無(wú)氧銅熱沉帶,熱沉到樣品臺(tái)

  
型號(hào)  | 材料  | 針尖直徑(µm)  | 
SMA-05D-01-W  | 鎢  | 1  | 
SMA-05D-05-W  | 5  | |
SMA-05D-10-W  | 10  | |
SMA-05D-20-W  | 20  | |
SMA-05D-100-W  | 100  | |
SMA-05D-01-BC  | 鈹銅  | 1  | 
SMA-05D-05-BC  | 5  | |
SMA-05D-10-BC  | 10  | |
SMA-05D-20-BC  | 20  | |
SMA-05D-100-BC  | 100  | |
SMA-05D-01-P7  | Paliney7合金  | 1  | 
SMA-05D-05-P7  | 5  | |
SMA-05D-10-P7  | 10  | |
SMA-05D-20-P7  | 20  | |
SMA-05D-100-P7  | 100  | 
針尖材料  | 描述  | 應(yīng)用  | 導(dǎo)電性  | 接觸電阻  | 壽命  | 
鎢(W)  | 常用,耐用  | 適用各種樣品表面,能穿透氧化層  | 好  | 小  | 長(zhǎng)  | 
鈹銅(BC)  | 常用,接觸電阻小  | 沉金焊盤(pán)pad  | 優(yōu)  | 蕞小  | 長(zhǎng)  | 
paliney7合金(P7)  | 專(zhuān)用,接觸電阻小  | 精密的焊盤(pán)pad  | 好  | 小  | 長(zhǎng)  | 
